Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Ч. 1

А. А. Раскин, В. К. Прокофьева  Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 1.
 
В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.